電性量測
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技術原理 |
電性量測的目的，是為了驗證及量測半導體電子元件的參數與特性，如電壓-電流、電容-電壓特性曲線、電阻、電容、電感值量測或訊號波形等，藉此了解元件的失效行為以推測可能的故障機制，並決定後續的分析動作。
閎康亦針對 chip level 提供硬針及軟針 (主要針對線路修補後之電性量測及驗證) 之探針量測服務，配合 probe station 與針座的架設，可同時點六根針，probe station 上配有 Laser cutting system，可做為定位之用。
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機台種類 |
圖 (a) 半導體參數分析儀 (HP4156C) |
圖 (b) 半導體參數分析儀 (Keysight B1500A) |
圖 (c) 高壓電源供應器 (Keithley 2410) |
圖 (d) 高壓電源供應器 (Keithley 2290, 5KV/5mA) |
圖 (e) 三輸出電源供應器 (E3631A, 6V/5A, +/-25V/1A) |
圖 (f) 電源供應器 (BK LPS505n, 32V/3A, 15V/5A) |
圖 (g) 數位電錶 (34401A) |
圖 (h) 示波器 (DSO-X 3104A) |
圖 (i) 直流電子負載 (DC Electronic Load 63600) |
圖 (j) 訊號產生器 (Keysight 33500B) |
圖 (k) 高功率器件分析儀 (Keysight B1506A, +/-3KV/20A) |
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分析應用 |
極低的漏電流測量 (例如光二極體或太陽能電池的暗電流測量)、CMOS 電路、雙極性元件、BiCMOS IC 的半導體參數測量 (或者是 Spice 參數測量)，開/短路試驗、C-V 測量、電感測量和 IC 直流/交流測試。
圖 (a) NMOS Vds-Ids 特性曲線 |
圖 (b) PMOS Vds-Ids 特性曲線 |
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聯絡窗口 |
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