材料分析

電子能量損失能譜的應用EELS

Advanced EELS Applications In Process Development

 配備在穿透式電子顯微鏡上的電子能量損失能譜(EELS, Electron Energy Loss Spectroscopy), 是一種高端的成份分析設備, 主要應用於低原子序固體材料, 例如碳氮氧等元素.EELS的能量解析度約1電子伏特(eV), 搭配空間解析度約1奈米(nm)的掃瞄穿透式電子顯微鏡(STEM, Scanning Transmission Electron Microscope 功能, STEM/EELS 已經成為奈米材料強而有力的分析工具。
 
 
 圖-1 300KV Titan
 
 
 圖-2 Gatan 965 EELS
 
 
     
     EELS的能量過濾(Energy Filtered)成像技術可用於半導體低介電常數材料的觀察.過濾不同能量,所看到的對比會不同。
 

 

下圖是利用EELS的近邊精細結構(Near Edge Fine Structure), 用於鑑定16nm半導體製程中鰭狀電晶體(FFET)的柵極的各層氧化物中, 辨別氧元素的不同化學鍵結.。

   
   
 
                                    
 

 EELS 搭配STEM的線掃描功能用於半導體低介電常數材料的成份變化。

       
 
接件窗口

胡先生 J.C. Hu

Tel:+886-3-6116678 ext:3110

Email:jchu@ma-tek.com

 

聯絡窗口(上海實驗室)

黃副理 

Tel:+86-21-5079-3616 ext:7115
手机:13611864918
E-mail:tem_sh@ma-tek.com