影像自動量測分析技術

在先進 IC 製程 FinFET 研發的應用

鰭式場效電晶體自動圖形辨認 (Auto-profiling of FinFET)

此技術可提供三維 (3D) 的鰭式場效電晶體 (FinFET)精確且快速的自動量測

以傳統手動的方式在TEM影像上量測FinFET ,過程中容易造成許多人為的誤判,為了有效降低人為的錯誤, 節省工時。在此,我們提供影像自動圖形辨認技術,對3D元件技術的開發,提供更科學化的數據回饋。單一照片處理工時只要數分鐘。

此技術主要分成三個步驟

圖-1
圖1

此技術可經由計算,將數據處理成統計資料

將FinFET的邊界轉換成數據,如圖(d)所示,再利用Excel作有意義的作圖,進一步凸顯分析數據的量化指標, 讓您的研發工作更簡便,更有效。

圖-2
圖2
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