We use cookies to improve your experience. By your continued use of this site you accept such use. To change your settings please see our Privacy Policy.
關閉

FIB線路修補

材料分析 (MA)

軟體

MA-tek FTP

企業社會責任報告書

光學膜厚量測儀 (Thin Film Analyzer)

技術原理

光學膜厚量測儀主要是使用垂直的光源入射樣品,偵測反射光譜的非接觸技術,不需要任何樣品準備就可以測量厚度,適用於半透膜樣品,只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度,光學膜厚量測儀還可以測量多層薄膜的厚度。

 

 


 

分析應用

  1. 薄膜厚度量測
  2. 多層膜厚量測
  3. 可量測介電層、氧化層、金屬膜等,有機、無機膜厚均可量測
  4. 最小量測尺寸 10um
  5. 厚度範圍:20nm~20um

 

 

 

機台種類

圖-1  Filmetrics F40

 

 

 

應用實例


圖2 單層薄膜厚度量測 (SiO2:316.38nm)

 


圖3 多層薄膜厚度量測 (Si:614.2nm / W:54.63nm / Si3N4:122.4nm)

 

 

 

 

 

常見問題

Q1. 光學膜厚量測儀樣品分析尺寸大小限制 ?

A. 樣品載台最大可以放置8吋晶圓不須裂片即可分析,最小可量測約0.5cm左右的樣品。

 

Q2. 光學膜厚量測儀準確性高嗎 ?

A. 光學膜厚量測儀是利用光源反射的訊號來進行fitting比對,若Goodness of fit數值越接近1時,量測厚度越接近實際厚度;若可提供愈小的厚度範圍,則fitting準確率愈高。

 

Q3. 光學膜厚量測儀可以量測多層膜嗎 ?

A. 可以,只要您提供樣品各層薄膜的結構與概略厚度,搭配資料庫就可以為您進行分析。

 

Q4. 光學膜厚量測儀是破壞性分析嗎 ?

A. 光學膜厚量測儀屬於光學非接觸式量測,並不會破壞樣品表面的結構。

 

Q5. 光學膜厚量測儀可偵測厚度的極限為何 ?

A. 最薄可以量測到20nm,若小於此厚度建議可搭配XRR或TEM來進行分析。

 

 

聯絡窗口

台灣實驗室

劉先生

: +886-3-6116678 ext:3972/3966

: +886-952-303-813

op@ma-tek.com

上海實驗室

譚小姐

: +86-21-5079-3616 ext:7092

: 137-6486-2001

: sims_sh@ma-tek.com