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FIB線路修補

材料分析 (MA)

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螢光顯微鏡 (UV-OM)

技術原理

螢光滲透實驗主要是針對小型的樣品,例如晶片級封裝,從紅墨水實驗衍伸出來的分析方法,因為紅墨水實驗只能針對較大的元件,觀察元件焊接的狀況,但是當樣品較小時,紅墨水的滲透在顯微鏡下會越來越難分辨,而螢光劑即使是很少量的滲透,在 UV 燈的照射之下也會發出不同於背景的明顯光源,因此可將紅墨水替換成螢光劑,藉此觀察樣品焊接接合的縫隙。

 

 

 

 

機台種類

OLYMPUS  BX43  U-RFL-T  TH4-100

 

 

 

 

 

分析應用

螢光檢測是利用螢光劑在真空狀態下對樣品進行滲透, 運用紫外光觀察樣品的螢光反應。

 

 

1.封裝異常

封裝 Paddle 疑似異常,用 UV-OM 觀察螢光滲漏處。

 

 

 

 

2.LED 螢光粉觀察

LED 螢光分布觀察,觀察不同螢光粒子的組成及多寡。

 

 

 

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