We use cookies to improve your experience. By your continued use of this site you accept such use. To change your settings please see our Privacy Policy.
關閉

FIB線路修補

材料分析 (MA)

軟體

MA-tek FTP

永續報告書

掃描式電容顯微鏡 (SCM)

技術原理

掃描式電容顯微鏡可觀察二維掺雜影像,並可分辨 N 型區域與 P 型區域,對於掺雜異常分佈所導致的故障及逆向工程分析相當有幫助。除此之外,此分析技術可補其它分析技術之不足,如:二次離子質譜儀 (SIMS) 分析與展阻分析儀 (SRP) 僅能呈現一維分布及 SEM 搭配化學蝕刻染色之分析技術不易精確控制蝕刻率等。

 


圖1 掃描式電容顯微鏡主要應用於二為載子濃度影像的觀察與分析

掃描式電容顯微鏡建立於掃描探針顯微鏡的架構上,因此其平面解析度可達 20 奈米,分析時加 AC 電壓於金屬鍍膜探針上,量測 dC/dV 訊號轉換為二維掺雜分布,可分辨出N型與P型區域及其界面。

 

 

 

 

 

分析應用

  1. N型與P型掺雜分析
  2. P-N接面分布分析
  3. 因掺雜分布異常導致故障/漏電分析
  4. 逆向工程分析掺雜二維分布

 

 

 

機台種類

圖2 Bruker D3100, Multiprobe Hyperion

 

 

 

應用實例


圖2 (a) 截面分析顯示SRAM樣品的摻雜類型及分布、(b) CIS array摻雜分布

 

 

圖3 Trench摻雜平面分布

 

  

 

 

常見問題

Q1. SCM 可以進行濃度的分析嗎 ?

A. 因SCM訊號強度會受樣品表面的情況所影響,所以無法直接從SCM來判定樣品的濃度,建議可以搭配SIMS或SRP來進行濃度的量測。

 

Q2. SCM 解析度最小可以到多少 ?

A. SCM使用Contact mode量測,一般解析度可達0.1um,若需要更加的解析度,本公司還有Nanoprobe高階機台可以進行更高解析度的SCM分析。

 

Q3. SCM 可以做樣品的 Plane View 嗎 ?

A.  可以,在進行Plane View分析之前會先將樣品表面所有結構都去除,然後就可以分析囉!

 

Q4. SCM 可以針對特定 Contact 來分析嗎 ?

A.  可以,針對特定的Contact Array我們會使用特殊定位方式再進行試片製備,確保分析位置的準確性。

 

Q5. SCM 可以提供哪些資訊呢 ?

A.  SCM除了可以提供樣品N/P摻雜分布以外,也可以量測出各區域的尺寸,例如摻雜厚度、Channel length、Trench摻雜深度、Source/Drain大小, N/P well界面等資訊。

 

 

聯絡窗口

台灣實驗室

劉先生

: +886-3-6116678 ext:3972/3966

: +886-952-303-813

xrd@ma-tek.com

上海實驗室

楊先生

: +86-21-5079-3616 ext:7201

: 137-6486-2001

: xps_sh@ma-tek.com