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EELS

技術原理

電子能量損失能譜(Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS)

配備在穿透式電子顯微鏡上的電子能量損失能譜(Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS )是一種高端的成份分析設備,主要應用於低原子序固體材料,例如碳氮氧等元素。EELS的能量解析度約1電子伏特(eV),搭配空間解析度約 1 奈米(nm)的掃瞄穿透式電子顯微鏡(Scanning Transmission Electron Microscop, STEM) 功能,STEM / EELS 已經成為奈米材料強而有力的分析工具。

 


300KV Tita

 

Gatan 965 EELS

  

 

EELS 的能量過濾(Energy Filtered)成像技術可用於半導體低介電常數材料的觀察,過濾不同能量,所看到的對比會不同。

 

 

下圖是利用 EELS 的近邊精細結構(Near Edge Fine Structure),用於鑑定 16nm 半導體製程中鰭狀電晶體(FFET)的柵極的各層氧化物中,辨別氧元素的不同化學鍵結。 

 

 

EELS 搭配 STEM 的線掃描功能用於半導體低介電常數材料的成份變化。

 

 

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