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FIB線路修補

材料分析 (MA)

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企業社會責任報告書

太陽能電池分析實例

分析類別

 適用項目
 

紋理化(表面形態)

光學輪廓儀,SEM,TEM

膜類型和厚度

SEM / EDS,TEM / EDS

細胞結構

SEM / EDS,TEM / EDS

結深

掃描電鏡,SIMS,SRP

基板缺陷(晶體缺陷)

TEM,SEM,EMMI

摻雜輪廓

SEM,SCM

邊緣隔離

EMMI,EL

失效分析(FA)

EMMI,EL,SAT,FIB,TEM,SEM

 

 

 

太陽能電池結構的平面圖 

 

 

非接觸式3D表面輪廓儀

應用領域

  • 平面度,表面粗糙度,台階高度,變形和波紋度
  • 2-D和3-D輪廓

 

好處

  • 準確,快速且無需樣品製備
  • 可以對非常廣泛的表面高度進行輪廓分析。(〜180微米)
  • 光學表面輪廓儀的優點包括
    1.出色的高度分辨率
    2.高測量速度
    3.能夠執行精密表面的非接觸式測量

 

 

表面缺陷表徵

(a)OP;(b)SEM;(c)在FPC上形成金屬指;(d)光掩模檢查

 

 

表面紋理(形態)

奈米視圖(光學輪廓儀):表面粗糙度的定量表徵

 

 

表面紋理化(形態,粗糙度)

 

 

細胞結構

 

 

正面表面紋理化

 

 

背面鋁BSF


  

SEM – BSF染色

 

 

SEM – 發射極結染色

 

 

基板針孔

 

(a)FIB 圖像;(b)SEM 圖像

 

 

FIB 切割基板針孔

 

 

 

基板針孔 (X-TEM)

 

 

 

基板針孔

截面TEM

 

 

EMMI 缺陷定位

  • 洩漏(結/氧化物):氧化物洩漏(低溫)、補漏等
  • 熱電子(散裝)

 

 

 

多晶矽太陽能電池的EL圖像

 

 

矽太陽能電池FA的EMMI分析

 

 

EMMI&TEM的矽太陽能電池FA

 

 

SIMS 應用

  • 超淺結分析
  • 非常薄的層(十埃)分析
  • 摻雜輪廓/深度輪廓
  • 背面銅擴散
  • 污染驗證
  • 出色的檢測限(ppm到ppb)
  • 可以檢測所有元素和同位素,包括H
  • 極好的深度分辨率,可能達到1nm
  • 通過標準參考定量
  • 絕緣子可以測量

 

 

(a)超淺結

(b)高深度分辨率

 


(a)CAMECA ims-6f,高透射率和高質量分辨率

(b)ATOMIKA sims 4500,高深度分辨率,超淺結


 

 

 

矽太陽能電池的SIMS分析