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薄膜厚度轮廓测量仪 (α-step)

技术原理

薄膜厚度轮廓测量仪主要是利用钻石所制作的尖头探针去扫描物体表面,以得到表面轮廓的资讯。

 

在探针扫描的运动轨迹横过物体表面,并利用一导体感测器记录了针尖的垂直运动变化,经由针尖运动产生的讯号,可以显示待测物体的一维表面轮廓;藉由表面轮廓可得知样品之高低起伏的形貌以及粗糙度,判断样品之精度。

 

 

 

 

分析应用

  1. 量测一维表面轮廓
  2. 藉由阶差 (step height) 量测薄膜的厚度 (thickness)
  3. 深度 (depth) 分析
  4. 一维线性粗糙度分析
  5. 分析样品最大尺寸:200mm (8吋晶圆)
  6. 最大量测长度:55mm;高度: 1.2mm (Z-range)

 

 

 

 

机台种类

图-1  Bruker

 

 

 

 

 

应用实例

 

图-2 薄膜厚度量测

 

 

图-3 一维表面粗糙度分析

 

 

 

 

常见问题

Q1. α-step 机台最大可以量测多大的样品 ?

A. α-step可以最大量测8吋Wafer样品,不需要裂片就可以进行分析。

 

Q2. α-step 解析度可以到多少 ?

A. α-step XY方向解析度为100nm,Z方向解析度为0.1nm。

 

Q3. α-step 探针针尖尺寸为何 ?

A. 探针针尖半径为2um。

 

Q4. α-step 可以量测粗糙度吗 ?

A. α-step可以量测一维方向粗糙度,若需量测二维方向粗糙度,建议使用AFM或白光干涉仪分析。

 

Q5. α-step 最长可量测的距离为何 ?

A. α-step最长可量测55mm的距离,高低差可达500um-1mm。

 

 

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