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企业社会责任报告书

SAT

技术原理

超音波扫瞄显微镜(SAT)的全名为Scanning Acoustic Tomography,一般我们又称为SAM (Scanning Acoustic Microscope),而我们业界所听到的SAT 是指超音波频率高于20KHz 者,它可以穿透一定厚度的固态与液态物质,并检测其结构组成是否有异常。目前使用之介质,通常为纯水。

 

其检测的基本原理为利用超音波发射源 (Probe) 透过纯水为介质而传导到待测试片上,经由超音波的反射或穿透等的作用,将此讯号经机台特定软体处理成像。而 Probe的选用会因为试片的厚度与材质而有所不同类型的选择。

 

最广范围15~230MH的转换器,可应用于各种高阶电子产品如Microelectronics, LEDs, MEMS, Power Modules, High-Tech device 等。可穿透厚度大于 4mm 的树脂封装。

 

 

 

 

机台种类

Hitachi FS300II

Sonoscan GEN6

 

 

 

 

分析应用

超音波主要用来检测、解析IC内部不同位置的脱层、气洞、裂痕及粘着状况,随着IC的微细化发展,超音波也将朝向高频,高Dumping、超微细Beam 的方向发展。此设备可以用来评估半导体电子业之封胶化合物,适合检查封胶内的微小缺陷:

 

  1. 封装崩裂 Package crack
  2. 层状结构剥离 Delamination
  3. 脱层(Delamination)
  4. 晶粒崩裂 Die crack
  5. 树脂合成物裂缝 Void in resin
  6. 晶粒附着不良 Poor die attachment
  7. 金属填孔的接触不良 Poor contact

 

 


闳康科技之超音波检验系统特色可有3D 成像, 即时3D 成像,0.5um 高度分辨率,1000mm/秒高速度,A扫瞄(A-scan),B扫瞄(B-scan),C扫瞄(C-scan),S图像(S-image) 和透射式扫瞄(T-scan)。

 

 

 

 
 
 

 

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