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FIB线路修补

材料分析 (MA)

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企业社会责任报告书

电性量测

技术原理

电性量测的目的,是为了验证及量测半导体电子元件的参数与特性,如电压-电流、电容-电压特性曲线、电阻、电容、电感值量测或讯号波形等,借此了解元件的失效行为以推测可能的故障机制,并决定后续的分析动作。

 

闳康亦针对chip level提供硬针及软针(主要针对线路修补后之电性量测及验证)之探针量测服务,配合probe station与针座的架设,可同时点六根针,probe station上配有Laser cutting system,可做为定位之用。

 

 

 

 

机台种类

图 (a) 半导体参数分析仪(HP4156C) 

图 (b) 信号/函数产生器(HP3325A)

 

 

图 (c) 高压电源供应器(Keithley 2410)

图 (d) 三输出电源供应器(E3631A, 6V/5A, +/-25V/1A)

 

 

图 (e) 数位电表(34401A) 

图 (f) 示波器(DSO-X 3104A)

 

 

图 (g) 直流电子负载(DC Electronic Load 63600)

图 (h) LCR表(HP4275A)

 

 

(i) 高功率可程式波形记录器(Tektronix 370A)

 

 

 

 

分析应用

极低的漏电流测量(例如光二极体或太阳能电池的暗电流测量),CMOS电路,双极性元件,BiCMOS IC 的半导体参数测量(或者是Spice参数测量),开/短路试验,CV 测量,电感测量,和IC 直流/交流测试。

 

图 (a) NMOS Vds-Ids特性曲线

图 (b) PMOS Vds-Ids特性曲线

 

 

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