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企业社会责任报告书

欧杰电子能谱分析仪 (FE-AES)

技术原理

JEOL JAMP-9500F为一场发射式扫描欧杰电子能谱分析仪,具有半球型(HSA)的能量解析器,可以达到极佳0.05%的电子能量分辨率;并且拥有极高的扫描电子影像(SEM )解析度3nm,欧杰Mapping的解析度则可达到8nm。

 

它是一种表面分析的精密仪器,可适用于表面5~8nm厚度物质之成份定性与半定量分析;除此之外,亦可搭配离子蚀刻进行多层薄膜间互相扩散现象的分析,或是污染成份的厚度评估,可针对产品表面残留物的成份与含量作定期的监控。

 

另外,藉由database的辅助亦可提供化学态的分析,特别适用于过渡金属元素,更可以针对多种化学态共存的状态下,分析其纵深分布的情形。

 

 

 

 

分析应用

  1. 欧杰能谱多点分析 (multi-points)
  2. AES纵深分析 (depth profile)
  3. AES mapping分析
  4. 监测样品表面洁净度
  5. 化学态分析
  6. 样品表面成份与半定量分析
  7. 表面氧化层厚度评估
  8. 杂质分析 (0.1%浓度以上)

 

 

 

 

机台种类

图-1 JEOL JAMP-9500F

 

 

 

 

应用实例

图-2 (a) Al pad纵深分析能谱

图-3 (b) Al pad表面分析能谱

 

图-4 (c) 氧化铁的化学态分析

图-5 (d) 导通孔(TSV) AES mapping

 

 

 

 

常见问题

Q1. 请问 AES 分析面积大约是多少 ?

A. AES分析面积会根据分析区域,分析结构与需求而定,最小分析面积可以到0.1um x 0.1um,最大可达400 um x 400um。

 

Q2. XPS 跟 AES 有什么差別 ?

A. XPS分析光源是以X-ray去激发样品表面来侦测光电子;AES是以电子束分析样品表面来侦测Auger电子,而电子束的beam size较小,所以针对分析区域小于30um的样品(如chip上的pad, 金手指…等) 可考虑由Auger分析。若需进行化学态分析或定量分析,则优先考量XPS。

 

Q3. 请问针对不导电的样品 AES 还能分析吗 ?

A. 基本上AES在分析时会开flood gun进行电荷补偿,可增加样品导电性,若样品导电性严重不佳,则可考量XPS分析。

 

Q4. AES 除了做表面元素成份分析还能做什么 ?

A. 除了做元素成份分析,还可以做纵深分析、部分化态键结等分析,可依您分析目的做进一步讨论,再提供最合适的分析方案帮助您找出问题。

 

Q5. 请问若只做元素成份分析送样,一般交期是多久 ?

A.  一般收到样品确认完需求,1-3个工作天会提供报告。

 

 

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