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EELS

技术原理

 

Advanced EELS Applications In Process Development

配备在穿透式电子显微镜上的电子能量损失能谱(EELS, Electron Energy Loss Spectroscopy), 是一种高端的成份分析设备, 主要应用于低原子序固体材料, 例如碳氮氧等元素.EELS的能量解析度约1电子伏特(eV), 搭配空间解析度约1奈米(nm)的扫瞄穿透式电子显微镜(STEM, Scanning Transmission Electron Microscope 功能, STEM/EELS 已经成为奈米材料强而有力的分析工具。

 


300KV Tita

 

Gatan 965 EELS

  

 

EELS的能量过滤(Energy Filtered)成像技术可用于半导体低介电常数材料的观察.过滤不同能量,所看到的对比会不同。

 

 

下图是利用EELS的近边精细结构(Near Edge Fine Structure), 用于鉴定16nm半导体制程中鳍状电晶体(FFET)的栅极的各层氧化物中, 辨别氧元素的不同化学键结。

 

 

EELS 搭配STEM的线扫描功能用于半导体低介电常数材料的成份变化。

 

 

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