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FIB线路修补

材料分析 (MA)

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企业社会责任报告书

太阳能电池分析实例

分析类别

适用项目
 

纹理化(表面形态)

光学轮廓仪,SEM,TEM

膜类型和厚度

SEM / EDS,TEM / EDS

细胞结构

SEM / EDS,TEM / EDS

結深

掃描電鏡,SIMS,SRP

基板缺陷(晶体缺陷)

TEM,SEM,EMMI

掺杂轮廓

SEM,SCM

边缘隔离

EMMI,EL

失效分析(FA)

EMMI,EL,SAT,FIB,TEM,SEM

 

 

 

太阳能电池结构的平面图

图-1

 

 

非接触式3D表面轮廓仪

應用領域

  • 平面度,表面粗糙度,台阶高度,变形和波纹度
  • 2-D和3-D轮廓

好处

  • 准确,快速且无需样品制备
  • 可以对非常广泛的表面高度进行轮廓分析。 (〜180微米)
  • 光学表面轮廓仪的优点包括
    • 出色的高度分辨率
    • 高测量速度
    • 能够执行精密表面的非接触式测量

 

图-2 表面缺陷表征

(a)OP;(b)SEM;(c)在FPC上形成金属指;(d)光掩模检查

 

 

表面纹理(形态) 

奈米视图(光学轮廓仪):表面粗糙度的定量表征

图-3

 

 

表面纹理化(形态,粗糙度)

图-4

 

 

细胞结构

图-5

 

 

正面表面纹理化

图-6

 

 

背面铝 BSF

图-7

 

 

SEM – BSF染色

图-8

 

 

SEM – 发射极结染色

图-9 

 

 

基板针孔

图-10 (a)FIB 图像;(b)SEM 图像

 

 

FIB 切割基板针孔

图-11

 

 

基板针孔 (X-TEM)

图-12

 

 

基板针孔

图-13 截面TEM

 

 

EMMI 缺陷定位

  • 泄漏(结/氧化物)
    • 氧化物泄漏(低温)
    • 补漏等
  • 热电子(散装)

图-14

 

 

多晶矽太阳能电池的EL图像

图-15

 

 

矽太阳能电池FA的EMMI分析

图-16

 

 

EMMI&TEM的矽太阳能电池FA

图-17

 

 

SIMS 应用

  • 超浅结分析
  • 非常薄的层(十埃)分析
  • 掺杂轮廓/深度轮廓
  • 背面铜扩散
  • 污染验证
  • 出色的检测限(ppm到ppb)
  • 可以检测所有元素和同位素,包括H
  • 极好的深度分辨率,可能达到1nm
  • 通过标准参考定量
  • 绝缘子可以测量

图-18 

(a)CAMECA ims-6f,高透射率和高质量分辨率

(b)ATOMIKA sims 4500,高深度分辨率,超浅结

 

图-19 (a)超浅结

图-19 (b)高深度分辨率

 

 

矽太阳能电池的SIMS分析

图-20