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CSRレポート

ナノプローバー

方式

Atomic force microscopy (AFM) based nanoprobers is one of state-of-the-art solutions to achieve precise fault isolation in nano-scale with its high spatial resolution.

テクノロジ・ノードの微細化に伴い、ナノプロービングが不可欠となっています。Hyperionは、10nmまでのトランジスタレベルの単一デバイスの特性評価を行うことができます。このスキャニングプローブ、AFMベースのナノプローバーは、タッピングモードのイメージング機能を備えており、電子ビームの帯電劣化のない正確なデータと、ピコカレントイメージングを提供し、IC回路の電気的な故障を明確に明らかにします。

 

 

特長

  1.   10nmノードに対応可能

  2.   タングステンチップ

  3.   接触抵抗 <30Ω

  4.   200ミクロンの範囲を超えるデバイスレベルの精度

  5.   超低ドリフトプロービング <1nm/min

  6.   窒素パージされた環境エンクロージャー

 

利点

  1.   究極の分解能

  2.   トランジスタの電子ビームバイアスなし

  3.   スキャン中のプローブ/サンプルの直接接触を回避

  4.   フォースフィードバック

  5.   5pA感度のコンダクティブAFM

  6.   Si中のドーパント濃度測定

  7.   10nm以下の水平分解能

  8.   高温測定

 

 

 

保有装置

 

 

(a) OM image of 8 probes ; (b) Tapping mode AFM image

 

 

With the help of pico-current, the current on a specific path can be measured.

(a) OM image of ROI ; (b) AFM image of ROI ; (c) Pico-current image

 

 

With the help of pico-current and SCM, failure locations can be identified for further FA analysis. Areas marked by a red circuit and a black ellipse exhibit the failure locations. Images are provided by Multiprobe, DCG.

 (a) Pico-current ; (b) SCM

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com