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CSRレポート

α-step

方式

The alpha-step uses a diamond-made sharp probe to scan the surface of objects in order to obtain their surface morphology.

α-stepは、ダイヤモンド製の鋭利なプローブを用いて対象物の表面を走査し、表面の形態を取得します。走査中の高さの変化は導電性センサーで検出し、記録されます。これにより、表面の形態と粗さを知ることができます。

 

 

 

保有装置

Bruker

 

 

 

応用

  1. 一次元表面モルフォロジー測定
  2. 薄膜の膜厚測定
  3. 深さ分析
  4. 一次元粗さ解析
  5. 最大測定試料サイズ:200mm(8”ウェハ)
  6. 最大測定長:55mm,最大Zレンジ:1.2mm

 


薄膜の膜厚測定


 

 


1次元表面粗さ解析

 

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com