このサイトでは、皆様の閲覧体験からサイトの改善を目指すことを目的としてCookieの使用に同意いただくことをお願いしております。
このサイトを継続して使用されることにより、Cookieの使用を受け入れて頂いたことになります。
詳しくは、私たちが設定している個人情報保護方針をご覧ください。

FIB回路修正

材料分析

お申込みフォーム

ダウンロード

MA-tek FTP

CSRレポート

SRP

方式

拡がり抵抗測定(SRP:Spreading Resistance Profile)は、接合深さ、抵抗、キャリア濃度/分布など、半導体材料の多くの特性を解析するための強力なツールです。

技術的なコンセプトは、一定の間隔でDUT上に配置した2つのプローブにバイアスをかけ、抵抗値を測定することです。接合深さおよびキャリア濃度を、計算後に得ることができます。

 

まず、サンプルを小さな傾斜角度を持つサンプルホルダーに取り付けます。ダイヤモンドペーストを使用して接合部の表面が露出したサンプルを準備します。次に、2つのプローブを使用してDUTのフラッシュ表面の抵抗を測定します。最終的に、深さに対する抵抗率またはキャリア濃度が得られます。

 

 

 

保有装置

 

 

 

応用

  1. キャリア濃度とキャリア濃度のデプスプロファイル

  2. 深さ抵抗率分布分析

  3. ジャンクション深さの分析

  4. 深部接合部の濃度分布分析

  5. アニーリング後のイオン注入モニター

 

 

 

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com