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SEM

方式

走査電子顕微鏡法(SEM)は試料の表面凹凸など微細構造を検査するのに最も適した技法です。

MA-tekは高機能SEM日立S-4800を有し、顧客に満足頂けるよう24時間サービスを提供しています。

 

MA-tekは、高分解能電界放射型SEM(FE-SEM)日立S-4800や、S-8020と多様な機種を揃えており、
これらの装置は試料の表面並びに断面観察を行うことができ、微細寸法(CD)の計測も可能で、最高倍率は10万倍になります。

 

さらに付属のEDX(エネルギー分散型検出器)により特定された微細構造内原子の定量分析も可能です。

 

 

保有装置

S-4800

S-8020

 

SU-8220

SU-8220

 

 

 

 

応用

  1. あらゆる種類の固体試料の表面および断面の微細構造観察
  2. 多層試料の観察と高精度微小寸法計測
  3. EDXによる、特定点、特定線、特定領域の定性および半定量分析
  4. 受動表面電位コントラスト像による、素子における金属接触不良、ショート、ポリゲートリーク、
    ポリシリコン残渣などの検出
  5. 自動撮像システムの適用により、光学顕微鏡やSEMでの各層ごとのリバースエンジニアリングによる回路解析
  6. EMMI(発光顕微鏡)やOBIRCH(光ビーム加熱抵抗変化検出法)と組み合わせた故障箇所の検出や、さらに微細切断法と組み合わせることによるその箇所の詳細調査

(a) DRAMセルの平面観察 after removing capacitors 

(b) DRAMセルのワードライン接続の断面

(C) 断面SEMの典型例2金属配線1ポリシリコン

(d) 静電破壊の平面像

(e) ICのリバースエンジニアリング

(f) 受動表面電位コントラスト(PVC)

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com