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CSRレポート

SCM

方式

走査型静電容量顕微鏡(SCM:Scanning Capacitance Microscope)は、N型とP型を区別した2次元のドーパント像を観察することができます。

この技術は、ドーパント分布の異常による故障の解析やリバースエンジニアリングに役立ちます。SCMは、1次元分布の情報しか得られないSIMSやSRPなどの他のツールを補完するツールとして利用することができます。

 

SCMはAFMをベースにした機能の一つであり、空間分解能は20nm程度です。金属コーティングされたプローブにACバイアスを印加することで、dC/dV信号を変換して2次元のドーパント分布を得ることができ、N型とP型の領域や界面を区別することができます。

 

 

  

 

保有装置

Bruker D3100, Multiprobe Hyperion

 

 

 

応用

  1. N-型およびP型ドーパントの分析
  2. P-N 接合の分布解析
  3. 異常なドーパント分布/リーク分析による故障解析
  4. 2次元ドーパント分布のリバースエンジニアリング

 

(a) SRAMサンプルの断面ドーパント分布    (b) CISアレイのドーパント分布

 

P/N-レンチドーパント分布

 

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com