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CSRレポート

SAT

方式

走査型音響トモグラフィー(SAT)は、走査型音響顕微鏡(SAM)とも呼ばれ、20KHz以上の超音波でICの構造を調べる手法です。

装置のプローブで発生した超音波は、中間体(純水)を介して対象サンプルに垂直に伝播し、サンプル内に浸透します。この波は、異なる材料や構造の界面に出会うと部分的に反射します。反射信号を解析することでサンプルの3D構造を構築できます。プローブはサンプルの材料と厚さに基づいて選択され、生成される超音波は15〜230MHzの範囲で変化します。エポキシパッケージでの侵入深さは約4mmです。 SAT / SAMのアプリケーションには、マイクロエレクトロニクス、LED、MEMS、パワーモジュール、先端デバイスなどのハイエンドIC製品が含まれます。

 

 

 

保有装置


日立 FS300II


Sonoscan GEN6

 

 

 

 

応用

SAT / SAMアプリケーション:

  • パッケージの亀裂
  • 層間剥離
  • ダイクラック

  • エポキシボイド
  • ダイ接着不良
  • はんだ不良
  • 金属部接触不良

 

弊社のSAT/SAMは、高さ分解能0.5μm、スキャン速度1000mm/sでROIのin-situ 3D画像を生成できます。

 

スキャンモードは、Aスキャン、Bスキャン、Cスキャン、Sイメージ、Tスキャンがあります。

 

 

 

 
 
 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

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: sales_nagoya@ma-tek.com