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CSRレポート

光学プロファイラー(OP)

方式

Optical Profilers (OP) is based on white light interference which caused by the interaction between light and material surface and thus can be used to resolve the morphology of sample surfaces.

光学プロファイラー(OP)は白色光の干渉を利用することで表面形態の検出に使用されています。干渉は、光と材料表面の間の相互作用によって生じるため、サンプル表面の形態を解明することができます。この技術は、フレキシブルプリント回路基板の金の指、マスク、表面欠陥、発光ダイオードの表面粗さ、およびフィルム間のギャップの検査に広く適用されています。

 

 

 

保有装置

Nano View NVE-10100

Bruker Contour GT

 

 

 

応用


欠陥のある表面のトポグラフィー. (a) OP ;(b) SEMイメージ


(c)PCB goldのOPイメージ  ;(d) CrメタルマスクのOPイメージ

 


(e) and (f) 金バンプのOPとSEMイメージ


(g) 上の金属電極のOPイメージ ;(h) 薄膜パネルのフォトレジストスペーサーのOPイメージ

 


OP 検査によるLEDのサイズ計測

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com