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CSRレポート

OM

技術コンセプト

光学顕微鏡(OM)は、サンプルの表面形態を表示するために用いられます。

対象領域に可視光を照射すると、その偏向と反射による二次元の強度コントラストが得られます。

その分解能は入射波長の約半分であり、可視光(波長400〜700 nm)の場合は約0.2μmです。 この解像度から最大倍率が約1,000Xに制限されるため、光学顕微鏡はサンプルの表面構造の事前検査に使用されます。

 

 

 

装置


(a) 50~1,000X (b) 100~500X / 40~200X / 5~75X (c)50~1,000X 

 

 

 

アプリケーション

光学顕微鏡のアプリケーションは次のとおりです:

  1. IC断面観察

  2. レイヤー解析

  3. 粒界無析出帯の観察

  4. 転位とオーバーエッチングの観察

  5. 酸化誘起積層欠陥の研究

 


(a) Metal (b) Poly (c) OD/AA

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com