このサイトでは、皆様の閲覧体験からサイトの改善を目指すことを目的としてCookieの使用に同意いただくことをお願いしております。
このサイトを継続して使用されることにより、Cookieの使用を受け入れて頂いたことになります。
詳しくは、私たちが設定している個人情報保護方針をご覧ください。

FIB回路修正

材料分析

お申込みフォーム

ダウンロード

MA-tek FTP

CSRレポート

HRXRD

方式

Bruker Discover D8は、複数の機能を備えたX線回折システムです。粉末回折と低角度回折に加えて、このシステムは、結晶性、結晶粒径、化合物や薄膜の組成、濃度などを調べるのに適した、測定用途に応じて分解能を任意に切り替える3つの光学素子を備えています。 その逆格子マッピング(RSM:reciprocal-space-mapping)は、結晶格子の歪みに関する情報を提供できます。

 

さらに、多層サンプルの膜厚、粗さ、および電子密度は、X線反射率法(XRR:X-Ray. Reflectivity)によって測定できます。 X線の透過と反射の特性により、最大検出深度は300 nmに、粗さは5nmに制限されます。

 

 

 

 

保有装置


 Bruker Discover D8

 

 

 

 

応用

  1. (三結晶HRXRD) 三結晶を用いた高分解能XRD分析

  2. (結晶性)結晶性分析

  3. (粒度)粒度分析

  4. 単層/多層膜厚のXRR分析

  5. 複合フィルムの組成分析

  6. 微小角入射X線回折法(GID:Grazing Incidence X-ray diffraction)

  7. (粉末XRD)

  8. 粉末X線回折(XRD)

  9. 結晶格子パラメータの解析

  10. 薄膜相の同定

  11. RSM(Reciprocal Space Mapping) 逆格子空間マッピング(RSM)

  12. エピタキシー分析

 

ITOフィルムのHRXRDスペクトル   ピーク幅による結晶子サイズ評価

 

(a) GaNエピタキシャル膜の膜厚・組成解析

(b) GaNエピタキシャル膜のRSM分析

 

(c) SiGeエピタキシャル膜のHRXRDスペクトル

(d) HfOx膜の厚さ、密度、粗さのXRR分析

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com