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FIB回路修正

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FIB回路修正

FIB回路修正は、ICデザイン業界にとって重要なサービスです。お客様のIC設計業務上の問題を解決するには、迅速な対応と高い歩留まりが鍵となります。

MA-tekではお客様に高品質で迅速な回路修正サービスを提供できるよう、現在15台のシングルビームFIBを揃え、24時間365日体制での作業を行っています。

 

 

 

技術コンセプト

FIBはGaをイオン源として使用し、負の電界によってGaイオンを放出します。イオンビームは静電レンズシステムにより試料表面に集光され、自動可変アパーチャによりビームサイズを制御することができます。Gaイオンの質量は電子に比べてはるかに大きいため、FIBを用いて試料表面の材料除去やナノリソグラフィーを行うことができます。

 

FIBは、IC回路修正のための材料(金属、誘電体、酸化物など)を切断、エッチング、蒸着することができます。さらに、現在、ポリマー、金属(Al、Cu)、酸化物などの除去に適用されているガスアシストエッチング(GAE)システムを用いることで、エッチング速度を向上させることができます。蒸着種には、Pt、W、酸化物(TEOS)があります。

 

シングルビームFIBとフィールドエミッション電子顕微鏡を組み合わせたものをデュアルビームFIB(DB-FIB)と呼びます。この装置は試料の断面観察(検査)に使用できます。われわれの強みは、さまざまなFIB設備を保有し、経験豊富な専門技術者を揃えていることです。このように、当社はお客様に最高のFAサービスを提供いたします。

 

 

 

アプリケーショ

FIBは1993年以降に、産業分野でのIC故障解析、特にTEM/SEMサンプルの前処理用途に使用されることが多くなりました。GAEシステムの助けを借りることで、IC回路の修正に使用し、マスクの交換にかかる時間を短縮することができます。

 

MA-tekは様々なFIBを用意しており、お客様に効率的で効果的なサービスを提供できます。我々のサービスには、ワイヤーの切断と接続、パッドのプロービング、断面観察などが含まれます。

MA-tekは、最高の品質と多様なサービスを提供するために、毎年多くの最新機器に投資し続けています。

 

  1. 精密切断

  2. TEM試料調整

  3. IC回路修正・検証

  4. プロセス異常の解析

  5. イオンチャネリングコントラストによる結晶粒子形態の観察

  6. 指定された故障アドレスへの自動ナビゲーション

  7. 故障箇所特定のためのパッシブ電圧コントラスト解析

 

 

応用例

(a) FIB回路修正

(b) Snウィスカのカット

(c) Pb-Snはんだの断面観察

(d) サンプルの断面観察

 

(a) サンプルの断面観察

(b) FIBによるIC回路の修正

(c) ハンダボール下の断面観察

(d) IC異常箇所の観察

 

(a) グレイン観察

(b) 断面観察

(c) FIBによるIC回路の修正

(d) PCB基板の断面観察

 

(a) プロービングパッド

(b) 大面積の断面観察

(c) FIB回路修正後の断面観察

  

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

: 080-5322-2380

: sales_nagoya@ma-tek.com