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EELS

方式

EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy)

(a) 300KV Titan   (b) Gatan 965 EELS

TEM(透過型電子顕微鏡)に搭載されたEELS(Electron Energy Loss Spectroscopy:電子エネルギー損失分光)は、試料の組成を分析するための強力な手法です。EELSのエネルギー分解能は1eV以下です。また、TEMの機能と組み合わせることで1nm以下の空間分解能が得られます。そのため、EELS/TEMは、組成分析のための重要な技術の一つとなっています。

 

 

 

EELSのフィルター処理されたイメージングを使用して、low-k材料の層の構造を分析しました。

 

 

EELSの近端微細構造を使用して、16nmhigh-k材料のさまざまな材料の酸素の化学状態を分析しました。

 

 

EELSラインスキャン分析により、16nm Low-k材料を評価しました。

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

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