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CSRレポート

AFM

方式

Atomic Force Microscope (AFM) uses a sharp tip/probe mounted on a cantilever to scan the sample surface to sense surface electronic and magnetic properties.

 

原子間力顕微鏡(AFM)は、カンチレバーに取り付けられた鋭利なTip(探針)で目的の試料表面を走査します。走査Tipを表面に近づけると、カンチレバーはTip頂点と試料表面との間のファンデルワールス力により曲がります。カンチレバーにはレーザー光が照射されており、反射したレーザー光をフォトセンサーで検出します。カンチレバーの曲がりによるレーザー光のシフト量を表面の形態に変換することができます。

 

主な走査モードとしては、コンタクトとタッピングの2つがあり、さまざまなアプリケーションに広く採用されています。オプションとして走査型静電容量顕微鏡(SCM:Scanning Capacitor Microscope)の測定も可能で、IC産業のための付加的なアプリケーションを提供することができます。さらに、表面の電気的・磁気的特性を評価するための、AFM技術に基づく多くのアプリケーションの開発が継続的に進められています。

 

 

 

保有装置

AFM (Bruker ICON)

 

 

 

応用

  1. <100um 表面モルフォロジー
  2. 粗さ分析
  3. 局所的な寸法と高さの測定
  4. 3次元画像解析
  5. 薄膜表面構造または欠陥解析、最大サンプルサイズ:12インチウェハ

 

(a) 表面粗さ解析

(b) 3次元画像

 

セクション分析

 

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

長谷川文哉

: 052-705-1688 ext:1

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