非破壞性分析

超音波掃瞄顯微鏡(SAT)

 

超音波掃瞄顯微鏡(SAT)的全名為 Scanning Acoustic Tomography,一般我們又稱為 SAM (Scanning Acoustic Microscope),而我們業界所聽到的 SAT 是指超音波頻率高於 20KHz 者,它可以穿透一定厚度的固態與液態物質,並檢測其結構組成是否有異常。目前使用之介質,通常為純水。
其檢測的基本原理為利用超音波發射源 (Probe) 透過純水為介質而傳導到待測試片上,經由超音波的反射或穿透等的作用,將此訊號經機台特定軟體處理成像。而 Probe的選用會因為試片的厚度與材質而有所不同類型的選擇。最廣範圍15~230MH的轉換器,可應用於各種高階電子產品如Microelectronics, LEDs, MEMS, Power Modules, High-Tech device 等。可穿透厚度大於 4mm 的樹脂封裝。

 

 

圖-1 (a) Hitachi FS300II (b) Sonoscan GEN6

 



超音波主要用來檢測、解析IC內部不同位置的脫層、氣洞、裂痕及粘著狀況,隨著IC的微細化發展,超音波也將朝向高頻,高Dumping、超微細 Beam 的方向發展。 此設備可以用來評估半導體電子業之封膠化合物,適合檢查封膠內的微小缺陷:
  1. 封裝崩裂 Package crack
  2. 層狀結構剝離 Delamination
  3. 脫層(Delamination)
  4. 晶粒崩裂 Die crack
  5. 樹脂合成物裂縫 Void in resin
  6. 晶粒附著不良 Poor die attachment
  7. 金屬填孔的接觸不良 Poor contact
閎康科技之超音波檢驗系統特色可有3D 成像, 即時3D 成像,0.5um 高度分辨率,1000mm/秒高速度,A掃瞄(A-scan),B掃瞄(B-scan),C掃瞄(C-scan),S圖像(S-image) 和透射式掃瞄(T-scan)。
圖-2
分析應用
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