LED產業應用方案

LED產業應用方案

可靠度測試

環境測試、電氣測試、亮度測試

X-光射線檢測服務

X-光射線非破壞性檢測

故障定位

熱顯像、紅外線微光顯微鏡、雷射光束電阻異常偵測

表面型態

光學干涉形貌儀、掃描式電子顯微鏡、穿透式電子顯微鏡

薄膜種類及厚度

掃描式電子顯微鏡/X光微區分析、穿透式電子顯微鏡/X光微區分析

晶片結構

掃描式電子顯微鏡/X光微區分析、穿透式電子顯微鏡/X光微區分析

晶體缺陷觀察(差排)

穿透式電子顯微鏡

元素深度分布圖

穿透式電子顯微鏡/掃描式電子顯微鏡、二次離子質譜儀

汙染物鑑定分析

歐傑電子顯微鏡、X-光學電子能譜分析儀

可靠度測試

環境測試、電氣測試、亮度測試

圖-1 可靠度測試服務
可靠度測試服務
圖-2可靠度測試設備

靜電測試、電性栓鎖測試、打線

圖-3 靜電測試、電性栓鎖測試、打線
靜電測試、電性栓鎖測試、打線
圖-4 LED靜電測試
LED靜電測試
X-光射線檢測服務

X-光射線非破壞性檢測

圖-5 X-光射線顯像
X-光射線顯像
圖-6 LED的X-光射線檢測
故障定位

熱顯像、紅外線微光顯微鏡、雷射光束電阻異常偵測

圖-7 EMMI/InGaAs,OBIRCH 缺陷偵測定位
故障定位
圖-8 EMMI/InGaAs,OBIRCH 於故障分析應用
表面型態

光學干涉形貌儀

光學干涉形貌儀
表面型態

掃描式電子顯微鏡

圖-9 掃描式電子顯微鏡俯視圖;LED晶粒表面粗化觀察
晶片結構及薄膜厚度

掃描式電子顯微鏡

圖-10 掃描式電子顯微鏡橫切面圖

雙粒子束斷層掃描

圖-11 雙粒子束斷層掃描精密縱切面圖
雙粒子束斷層

穿透式電子顯微鏡

圖-12 穿透式電子顯微鏡縱切面圖
縱切面圖
圖-13 (a)MQW and super lattice;(b)HR TEM of MQW;(c)PSS and buffer layer
穿透式電子顯微鏡
晶體缺陷觀察(差排)

穿透式電子顯微鏡

圖-14 穿透式電子顯微鏡顯像(磊晶緩衝層的晶體缺陷)
穿透式電子顯微鏡
圖-15 指定區域拍攝穿透式電子顯微鏡,觀察排差的密度和排差的走向
物質深度分布圖

穿透式電子顯微鏡/X光微區分析,二次離子質譜儀

TEM/EDX Line Profile – Blue LED – MQW and Superlattice

圖-16 在超晶格層的In%可達到0.2at%的鑑定極限
物質深度分布圖a

Elemental Depth profile by SIMS

圖-17 背向式二次離子質譜儀可以有效改善縱深的解析度,閎康科技每日可提供5-10個試樣的分析服務
物質深度分布圖b